中國(guó)微米納米技術(shù)學(xué)會(huì)消息顯示,近日,中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所張子旸研究員與國(guó)家納米中心劉前研究員合作,在Nano Letters上發(fā)表了研究論文,報(bào)道了一種他們開發(fā)的新型5 nm超高精度激光光刻加工方法。
據(jù)悉,研究團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)開發(fā)了一種新型三層堆疊薄膜結(jié)構(gòu)。在無(wú)機(jī)鈦膜光刻膠上,采用雙激光束交疊技術(shù),通過(guò)精確控制能量密度及步長(zhǎng),實(shí)現(xiàn)了1/55衍射極限的突破,達(dá)到了最小5 nm的特征線寬。
圖片來(lái)源:中國(guó)微米納米技術(shù)學(xué)會(huì)
此外,研究團(tuán)隊(duì)利用這種超分辨的激光直寫技術(shù),實(shí)現(xiàn)了納米狹縫電極陣列結(jié)構(gòu)的大規(guī)模制備。同時(shí),該團(tuán)隊(duì)還利用發(fā)展的新技術(shù)制備出了納米狹縫電極為基本結(jié)構(gòu)的多維度可調(diào)的電控納米SERS傳感器。
值得一提的是,研究團(tuán)隊(duì)所開發(fā)的具有完全知識(shí)產(chǎn)權(quán)的激光直寫設(shè)備,利用了激光與物質(zhì)的非線性相互作用來(lái)提高加工分辨率,其有別于傳統(tǒng)的縮短激光波長(zhǎng)或增大數(shù)值孔徑的技術(shù)路徑;并打破了傳統(tǒng)激光直寫技術(shù)中受體材料為有機(jī)光刻膠的限制,可使用多種受體材料,極大地?cái)U(kuò)展了激光直寫的應(yīng)用場(chǎng)景。
目前,該工作得到了國(guó)家重點(diǎn)研究計(jì)劃項(xiàng)目、國(guó)家自然科學(xué)基金、Eu-FP7項(xiàng)目、中國(guó)博士后科學(xué)基金的支持。
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