▌ 我們先來(lái)搞清楚時(shí)間單位換算

1ms (毫秒)=0.001秒=10-3秒

1μs (微秒)=0.000001=10-6秒

1ns (納秒)=0.0000000001秒=10-9秒

1ps (皮秒)=0.0000000000001秒=10-12秒

1fs (飛秒)=0.000000000000001秒=10-15秒

搞清楚了時(shí)間單位，我們就知道了飛秒激光是一種極其超短脈沖的激光加工。近十年來(lái)，超短脈沖激光加工技術(shù)取得突飛猛進(jìn)的發(fā)展。

▌ 超短脈沖激光的意義

人們很早就嘗試?yán)眉す膺M(jìn)行微加工。但是由于激光的長(zhǎng)脈沖寬度和低激光強(qiáng)度造成材料熔化并持續(xù)蒸發(fā)，雖然激光束可以被聚焦成很小的光斑，但是對(duì)材料的熱沖擊依然很大，限制了加工的精度。唯有減少熱影響才能提高加工質(zhì)量。

當(dāng)激光以皮秒量級(jí)的脈沖時(shí)間作用到材料上時(shí)，加工效果會(huì)發(fā)生顯著變化。隨著脈沖能量急劇上升，高功率密度足以剝離外層電子。由于激光與材料相互作用的時(shí)間很短，離子在將能量傳遞到周?chē)牧现熬鸵呀?jīng)從材料表面被燒蝕掉了，不會(huì)給周?chē)牟牧蠋?lái)熱影響，因此也被稱(chēng)為“冷加工”。憑借冷加工帶來(lái)的優(yōu)勢(shì)，短與超短脈沖激光器進(jìn)入到工業(yè)生產(chǎn)應(yīng)用當(dāng)中。

激光加工：長(zhǎng)脈沖 VS 超短脈沖

超短脈沖加工能量極快地注入很小的作用區(qū)域，瞬間高能量密度沉積使電子吸收和運(yùn)動(dòng)方式發(fā)生變化，避免了激光線性吸收、能量轉(zhuǎn)移和擴(kuò)散等影響，從根本上改變了激光與物質(zhì)相互作用機(jī)制。

長(zhǎng)脈沖激光加工后的部位

超快激光脈沖加工后的部位

▌ 激光加工的廣泛應(yīng)用

激光加工包含高功率切割、焊接；微加工之鉆孔、劃線、切割、紋理、剝除、隔離等，各種激光加工手段的主要用途有：

1. 鉆孔

電路板設(shè)計(jì)中人們開(kāi)始用陶瓷基底代替常規(guī)的塑料基底以實(shí)現(xiàn)更好的導(dǎo)熱效果。為了連接電子元件，一般需要在板上鉆高達(dá)數(shù)十萬(wàn)個(gè)μm級(jí)的小孔。因此保證基底的穩(wěn)定性不會(huì)受到鉆孔過(guò)程時(shí)熱輸入的影響就變得十分重要，皮秒激光正是這個(gè)應(yīng)用的理想工具。

皮秒激光能以沖擊鉆探的方式完成孔的加工，并保證孔的均勻性。除了電路板，皮秒激光還可以對(duì)塑料薄膜、半導(dǎo)體、金屬膜和藍(lán)寶石等材料進(jìn)行高質(zhì)量鉆孔。

100μm不銹鋼薄片，鉆孔，3.3ns vs 200fs ，1萬(wàn)個(gè)脈沖，燒蝕閾值附近：

2. 劃線，切割

通過(guò)掃描的方式疊加激光脈沖可以形成線。通常要通過(guò)大量的掃描可以深入到陶瓷內(nèi)部，直到線的深度達(dá)到材料厚度的 1/6。然后沿著這些刻線從陶瓷基底上分離單個(gè)模塊。這種分離方法叫做劃線。

另一種分離方法是使用超短脈沖激光燒蝕切割，也稱(chēng)為消融切割。激光對(duì)材料進(jìn)行燒蝕，去除材料直到它被切透。這個(gè)技術(shù)的好處是加工的孔的形狀和尺寸具有較大的靈活性。所有的工藝步驟可以通過(guò)一臺(tái)皮秒激光器完成。

皮秒激光和納秒激光在聚碳酸酯材料上進(jìn)行劃線加工的不同效果。

3. 線燒蝕（去除鍍層）

另外一種經(jīng)常被視作微加工的應(yīng)用是在不損害或輕微損害基底材料的情況下精確去除涂層。燒蝕既可以是幾微米寬的線，也可以是幾平方厘米的大面積去除。

由于涂層的厚度通常遠(yuǎn)小于燒蝕的寬度，以至于熱量不能在側(cè)面?zhèn)鲗?dǎo)。因此可以使用納秒級(jí)脈沖寬度的激光。

高平均功率激光、方形或矩形傳導(dǎo)光纖、平頂光強(qiáng)分布，這幾項(xiàng)技術(shù)的結(jié)合使得激光面燒蝕得以在工業(yè)領(lǐng)域得到應(yīng)用。例如：使用通快公司的 TruMicro 7060 激光器去除薄膜太陽(yáng)電池玻璃上的涂層。同樣的激光器也可以應(yīng)用在汽車(chē)工業(yè)中對(duì)抗腐蝕涂層進(jìn)行去除，為后續(xù)焊接做準(zhǔn)備。

4. 表面結(jié)構(gòu)化

結(jié)構(gòu)化可以改變材料表面的物理特性。根據(jù)荷花效應(yīng)，疏水性表面結(jié)構(gòu)讓水從表面流掉。用超短脈沖激光器在表面創(chuàng)造亞微米結(jié)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)這個(gè)特性，并可以通過(guò)改變激光參數(shù)對(duì)所要?jiǎng)?chuàng)造的結(jié)構(gòu)進(jìn)行精確控制。

相反的效果，例如親水性表面，同樣可以實(shí)現(xiàn)，而且微加工還可以創(chuàng)造更大尺寸的結(jié)構(gòu)。這些工藝可以用于發(fā)動(dòng)機(jī)中的油箱來(lái)制造一些降低磨損的微結(jié)構(gòu)，或者在金屬表面結(jié)構(gòu)化實(shí)現(xiàn)與塑料的焊接。

5. 雕刻成型

雕刻成型是通過(guò)燒蝕材料創(chuàng)造三維形狀。盡管燒蝕的尺寸可能會(huì)超過(guò)傳統(tǒng)意義上所說(shuō)的微加工的范疇，但是它所需的精度還是使它被劃分到這類(lèi)激光應(yīng)用領(lǐng)域。皮秒激光可以用于加工銑床的多晶金剛石刀具邊緣。

激光是加工多晶金剛石的理想工具，多晶金剛石是可以制作銑刀刀刃的極為堅(jiān)硬的材料。使用雕刻成型技術(shù)來(lái)加工銑刀的切屑槽和齒，這種情形下激光的好處是非接觸和高加工精度。

微加工具有非常廣闊的應(yīng)用前景，越來(lái)越多的生活用品正通過(guò)激光微加工進(jìn)入我們的視野。

激光加工屬于無(wú)接觸式加工，具有后續(xù)工藝少，可控性好、易于集成，加工效率高、材料損耗小，環(huán)境污染低等顯著優(yōu)勢(shì)，已廣泛應(yīng)用于汽車(chē)、電子、電器、航空、冶金、機(jī)械制造等行業(yè)，對(duì)提高產(chǎn)品質(zhì)量、勞動(dòng)生產(chǎn)率、自動(dòng)化程度、減少材料消耗等起到愈來(lái)愈重要的作用。