美國APC公司在今天對(duì)外宣布:我們終于突破了中國人的技術(shù)封鎖,掌握了KBBF單晶制備工藝!這項(xiàng)技術(shù)是在1996年,由中國科學(xué)院理化所院士陳創(chuàng)天利用KBBF單晶體在國際上首次獲得深紫外全固態(tài)激光。該激光對(duì)微納加工、微觀探測(cè)、物質(zhì)檢測(cè)、超導(dǎo)研究等有重要價(jià)值。由于國外在此領(lǐng)域沒有獲得實(shí)質(zhì)性突破,2009年開始中國就此技術(shù)不在對(duì)國外進(jìn)行技術(shù)交流和相關(guān)內(nèi)容展示-將而言之技術(shù)封鎖!
肯定有讀者說小編你又忽悠我,中國什么可能超越美國呢?還能對(duì)美國技術(shù)封鎖?實(shí)際上這個(gè)問題要從深紫外激光本身特性來說明,深紫外激光的是不相干性最好的激光。我們都學(xué)過物理,物理中光是廣波形式存在的,有波存在就有相互干涉的情況。而深紫外激光就是人造激光光源中難得好光源,有了這樣的光源對(duì)于精密加工測(cè)量有著重大的意義,加工精度更高,測(cè)量范圍更準(zhǔn)。不過整套深紫外激光發(fā)生光學(xué)系統(tǒng)和我們常見的紫外激光也不一樣,因?yàn)榻^大多數(shù)材料對(duì)于深紫外是不透過的,以至于要制造這套設(shè)備,單臺(tái)造價(jià)成本就要上千萬美元。國外雖然曾經(jīng)投入巨資研制同類系統(tǒng),不過因?yàn)樘^昂貴,而且已經(jīng)量子的極限,所以只能放棄。而中國人的鍥而不舍,終究把這個(gè)東西給做出來了。
這次這個(gè)美國APC公司掌握的KBBF全稱為氟硼酸鈹鉀(KBe2BO3F2),是一種非線性無機(jī)光學(xué)晶體。最早是由中國科學(xué)院理化所經(jīng)過15年的研究首次開發(fā)成功。這種晶體是目前唯一可通過直接倍頻方法實(shí)現(xiàn)深紫外諧波光輸出的非線性光學(xué)材料。KBBF晶體能夠縮短激光的波長(zhǎng),裝備該晶體的各種激光器能發(fā)出具有極窄頻寬的紫外光波。簡(jiǎn)單的講,就是用最低的材料成本價(jià)格,來獲得深紫外光源。這一突破被美國人稱之為戰(zhàn)略級(jí)物質(zhì)突破,全美就此一家!不少研究人員喜極而泣,終于拿下了中國人20年前的研究成果了。
深紫外激光光源可以用來建造超高分辨率的物理探測(cè)觀測(cè)設(shè)備,還可能把現(xiàn)有光刻機(jī)的精度提升10倍以上,這事對(duì)未來的微納米技工產(chǎn)業(yè),生物醫(yī)學(xué),激光電視等前瞻性領(lǐng)域產(chǎn)生決定性的影響。這家美國公司認(rèn)為此次他們突破了KBBF單晶,性能比中國高,成本比中國低,是美國國防研究和國土安全領(lǐng)域的一大突破!聽起來這個(gè)劇本貌似拿錯(cuò)了,以前這些話都是中國人在說啊。
至于中國手握這項(xiàng)技術(shù)到底實(shí)用性在哪?估計(jì)廣大媒體都可能沒注意到,就是制造CPU所必須的光刻機(jī)!這個(gè)被譽(yù)為光學(xué)工業(yè)之花,他的光源現(xiàn)在就是深紫外激光!而中國的光刻機(jī)現(xiàn)在進(jìn)展如何了?一則小小的新聞會(huì)告訴我們答案。
2016年1月29-30日,國家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”(簡(jiǎn)稱02專項(xiàng))實(shí)施管理辦公室在清華大學(xué)組織召開了“光刻機(jī)雙工件臺(tái)系統(tǒng)樣機(jī)研發(fā)”項(xiàng)目的專項(xiàng)內(nèi)部驗(yàn)收會(huì)。02專項(xiàng)““光刻機(jī)雙工件臺(tái)系統(tǒng)樣機(jī)研發(fā)”項(xiàng)目日前通過專項(xiàng)內(nèi)部驗(yàn)收會(huì)。項(xiàng)目突破了平面電機(jī)、微動(dòng)臺(tái)、超精密測(cè)量、超精密運(yùn)動(dòng)控制、系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)分析、先進(jìn)工程材料制備及應(yīng)用等若干關(guān)鍵技術(shù),攻克了光刻機(jī)工件臺(tái)系統(tǒng)設(shè)計(jì)和集成技術(shù),最終研制出2套光刻機(jī)雙工件臺(tái)掩模臺(tái)系統(tǒng)α樣機(jī),并通過了相關(guān)測(cè)試。
什么意思?完全中國自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的CPU光刻機(jī)已經(jīng)完成了所有部件的國產(chǎn)化工作并且通過了相關(guān)測(cè)試,這可以確保我們?cè)?2nm以下CPU技術(shù)領(lǐng)域再也不用看別人的臉色行事。雖然現(xiàn)在只是α樣機(jī),距離實(shí)際工業(yè)化仍然有一定的差距。不過只要我們逐項(xiàng)公關(guān),補(bǔ)齊全部的高新領(lǐng)域短板,剩下事情就看系統(tǒng)整合能力了。這也正是我們現(xiàn)在工業(yè)4.0時(shí)代所要求的目標(biāo),加速整合現(xiàn)有現(xiàn)有技術(shù),集中攻關(guān),最終獲得國防工業(yè)和民用產(chǎn)業(yè)的雙豐收!
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