上海光機(jī)所強(qiáng)場(chǎng)激光物理國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室林錦添等與浙江大學(xué)現(xiàn)代光學(xué)儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室合作，提出了一種基于飛秒激光直寫的晶體高品質(zhì)回音壁模式光學(xué)微腔的制備新方案[Sci. Rep. 5, 8072 (2015)]。該方案使用鈮酸鋰薄膜/二氧化硅/鈮酸鋰襯底的三明治結(jié)構(gòu)材料作為樣品（如圖1所示），通過水輔助的飛秒激光刻蝕，在樣品上制備微柱體；接著使用聚焦離子束(FIB)對(duì)微柱體的邊緣進(jìn)行研磨，降低邊緣的粗糙度；為了擴(kuò)大微腔與周圍環(huán)境的折射率差，將二氧化硅層腐蝕為小支柱，形成懸空的鈮酸鋰微盤；最后對(duì)微盤腔進(jìn)行高溫處理。所制備的鈮酸鋰薄膜微腔如圖2(a)所示。經(jīng)測(cè)量，晶體微腔的品質(zhì)因子在1550 nm波段高達(dá)到2.5×10⁵(見圖2(b))。利用單縱模的窄帶可調(diào)諧激光對(duì)該微腔進(jìn)行泵浦，獲得了顯著的二次諧波信號(hào)，其歸一化轉(zhuǎn)換效率達(dá)到1.35×10^-5/mW的[arXiv:1405.6473 (2014)]。圖2(c)顯示了產(chǎn)生紫色的二次諧波的微腔側(cè)面圖。 

　　由于該制備技術(shù)，對(duì)晶體材料的性質(zhì)不敏感，有望在多種介質(zhì)晶體上制備高品質(zhì)的回音壁模式光學(xué)微腔，推動(dòng)微腔在非線性光學(xué)、量子光學(xué)的應(yīng)用。 

　　該項(xiàng)研究得到了國(guó)家重大科學(xué)研究計(jì)劃、國(guó)家自然科學(xué)基金等的支持。