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- 2020-10-28 09:47中科院：通過激光達(dá)到5nm實(shí)驗(yàn)室光刻精度
- 2020-09-23 13:55大族激光：光刻機(jī)項(xiàng)目分辨率3-5μm，和阿斯麥沒有合作
- 2020-09-22 10:262020年德國(guó)未來獎(jiǎng)?lì)C給通快、蔡司和弗勞恩霍夫的EUV光刻開發(fā)人員
- 2020-09-14 10:17兩位中科院院士、極紫外光刻專家談習(xí)近平在科學(xué)家座談會(huì)講話
- 2020-09-06 23:47以光為刀，助攻微納器件制備 ——無掩模紫外光刻機(jī)重磅出擊
- 2020-09-05 09:24又一科技巨頭進(jìn)軍光刻機(jī)領(lǐng)域：激光技術(shù)亞洲第一，半年?duì)I收51億
- 2020-09-03 09:33激光直寫光刻機(jī)設(shè)備商江蘇影速集成電路裝備擬科創(chuàng)板IPO
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