產(chǎn)品特點

?  疊層式布局                                                                 ?  納米級微動步距

?  緊湊型中空結(jié)構(gòu)                                                          ?  高動態(tài)性能，高精度

?  雙直驅(qū)電機驅(qū)動                                                          ?  集成式線纜管理

應(yīng)用領(lǐng)域

RBZK系列是帶中空結(jié)構(gòu)的精密運動臺，大尺寸通孔、高動態(tài)性能滿足晶圓檢測應(yīng)用，同時適用于CCD成像、LED封裝檢測等其它高端制造等行業(yè)。

設(shè)計特點

RBZK系列雙軸中空精密運動臺，疊層緊湊的中空外形結(jié)構(gòu)，工作點位置降低，光柵反饋位置接近工作表面，在晶圓檢測中至關(guān)重要。高精度滾柱導(dǎo)軌和精密研磨的加工表面，專業(yè)的裝配工藝，獲得直線度±1μm，平面度±2.5μm。

光柵反饋

每軸采用雙光柵尺閉環(huán)反饋，安裝位置接近工作表面，能夠有效地降低系統(tǒng)誤差影響，提升整體精度性能?？蛇x電子分辨率0.3nm或5nm。

雙驅(qū)結(jié)構(gòu)

每軸用雙直線電機驅(qū)動，龍門交叉解耦控制算法，保證雙電機的運行的一致性，提供大推力、速度1m/s和準(zhǔn)確的定位，直線電機的溫度控制在室溫，比滾珠絲桿傳動結(jié)構(gòu)的運動臺，性能有了提升。

線纜管理

使用高質(zhì)量無塵拖鏈，優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動作過程中影響其性能，同時也適用在潔凈室內(nèi)。

規(guī)格指標(biāo)

注：

以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±1℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-E，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測試，請咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級版。

2. 取決于平臺安裝表面的平面度。

3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數(shù)。

4. 空載條件下的精度指標(biāo)，最大速度和加速度取決于負載大小。