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產(chǎn)品特點

l ? 非接觸閉式氣浮結構 ? 行程100~1000mm可選

l ? 亞微米級重復定位精度 ? 全行程直線度優(yōu)于1μm

? 高柔線纜管理 ? 可定制化設計

應用領域

QFU系列是一款大行程氣浮運動臺，閉式氣浮結構，常規(guī)最大行程1米，直線度優(yōu)于1μm，用于精密加工、測試測量、掃描、半導體及光子學等行業(yè)。

結構特點

QFU系列主要采用氣浮導軌、直線電機和光柵尺組成，閉式氣浮結構，氣浮導軌四面均勻受力，相較于開式氣浮結構，側向氣浮剛度更大，承載能力更強，模態(tài)更高，系統(tǒng)帶寬更大，相位裕度和幅值裕度余量更大，對于大體積、大負載及偏心安裝等負載形式，更能突顯其性能優(yōu)勢。

精度性能

氣浮導軌基于氣體靜壓效應，實現(xiàn)無摩擦和無振動地平滑移動，與摩擦式導軌相比，氣浮運動臺的直線度、平面度可達亞微米，Pitch Yaw指標可達1角秒內(nèi)，由于非接觸式，系統(tǒng)跟隨誤差有了質(zhì)地提升，定位精度和重復精度得到了顯著提高，行程100~1000mm可選。

線纜管理

使用高質(zhì)量、高柔性的屏蔽線纜，管線彎曲半徑更小，能夠防止電子信號的干擾，同時防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮運動臺的性能。

定制化

可定制陶瓷材質(zhì)氣浮導軌，1米行程直線度可優(yōu)于±0.5μm，更大行程也可接受定制。

規(guī)格指標

型號	單位	QFU-100	QFU-200	QFU-300	QFU-400	QFU-500
行程	mm	100	200	300	400	500
補償后定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.1	±0.15	±0.15	±0.2	±0.2
標準值	±0.2	±0.2	±0.3	±0.4	±0.4
雙向重復定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.05	±0.075	±0.075	±0.1	±0.1
標準值	±0.1	±0.1	±0.1	±0.15	±0.15
直線度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.05	±0.1	±0.15	±0.4	±0.4
標準值	±0.2	±0.4	±0.5	±0.5	±0.5
平面度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.1	±0.2	±0.4	±0.5	±0.5
標準值	±0.2	±0.4	±0.75	±0.75	±0.75
Pitch Roll Yaw ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	arc sec	±0.25	±0.4	±0.75	±0.8	±1
標準值	±0.5	±1	±1.5	±2	±2.5
電子分辨率 ⁽³⁾	nm	0.3 或 5（選配）
最大速度 (空載) ⁽⁴⁾	m/s	1
最大加速度 (空載) ⁽⁴⁾	m/s2	5,（10, 20 定制）
最大負載	kg	20
供氣壓力 ⁽⁵⁾	MPa	0.5±0.05

型號	單位	QFU-600	QFU-700	QFU-800	QFU-900	QFU-1000
行程	mm	600	700	800	900	1000
補償后定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.3	±0.3	±0.5	±0.5	±0.5
標準值	±0.5	±0.5	±1	±1	±1
雙向重復定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.15	±0.15	±0.2	±0.2	±0.2
標準值	±0.2	±0.2	±0.3	±0.3	±0.3
直線度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.45	±0.45	±0.45	±0.5	±0.5
標準值	±0.75	±0.75	±0.75	±1	±1.5
平面度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.5	±0.65	±0.7	±1	±1
標準值	±1	±1	±1.5	±2	±2
Pitch Roll Yaw ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	arc sec	±1	±1	±1	±1.5	±2
標準值	±3	±3	±4	±4.5	±5
電子分辨率 ⁽³⁾	nm	0.3 或 5（選配）
最大速度 (空載) ⁽⁴⁾	m/s	1
最大加速度 (空載) ⁽⁴⁾	m/s2	5,（10, 20 定制）
最大負載	kg	20
供氣壓力 ⁽⁵⁾	MPa	0.5±0.05

注：

以上為單軸精度指標，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環(huán)境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標，是標準值的升級版。

2. 取決于平臺安裝表面的平面度。

3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數(shù)。

4. 空載條件下指標，最大速度和加速度取決于負載大小。

5. 為保護氣浮導軌建議加裝壓力保護開關。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。

訂購信息

型號	QFU	-300	-PLUS	-AL	-N	-1	-0	-C1	-3	-Y	-Y
描述	閉式氣浮運動臺	行程300mm	PLUS高精度版	鋁合金氣浮導軌	默認	增量式光柵1Vpp反饋	零點在行程中心位置	高柔排線	線纜長度3米	有大理石基座	有壓力保護開關