產(chǎn)品特點
l ? 氣浮導(dǎo)軌，超高性能精度 ? 重復(fù)定位精度±15nm（Sic版）
l ? 平面式氣浮結(jié)構(gòu)，減小系統(tǒng)誤差影響 ? 直線度優(yōu)于1μm
l ? 龍門式雙驅(qū)結(jié)構(gòu)，承載能力強 ? Z軸納米級定位抖動
l ? 高速，快速的整定時間 ? 可選激光尺位置反饋
l ? 可定制陶瓷材質(zhì)氣浮導(dǎo)軌 ? 優(yōu)化線纜管理系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域
QFHDS系列三軸超精密運動臺，XY軸平面式氣浮結(jié)構(gòu)，Z軸交叉滾柱結(jié)構(gòu)，用于半導(dǎo)體加工、檢測、微納加工等行業(yè)。
結(jié)構(gòu)特點
XY軸運動結(jié)構(gòu)共面，兩軸的反饋機構(gòu)在同一個水平面，相當于單軸運動，不存在因疊層引起的阿貝誤差，此結(jié)構(gòu)提升動態(tài)跟蹤誤差，高速響應(yīng)頻率及位置穩(wěn)定性，開發(fā)的氣浮軸承補償方法，提高剛性和負載能力，以滿足高動態(tài)響應(yīng)的要求，可實現(xiàn)快速運動和極速位置整定。Z軸交叉滾柱導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，安裝到龍門橫梁上，亞微米級精度，定位抖動優(yōu)于20nm。更高要求可接受定制，瑞邦精控提供系統(tǒng)解決方案，對環(huán)境要求提供專業(yè)建議。
直驅(qū)設(shè)計
采用無鐵芯直線電機驅(qū)動，實現(xiàn)了超平穩(wěn)的運動。步進軸和掃描軸安裝位置接近于負載水平面，以提高直線度、平面度和傾角誤差等。
其他
使用高質(zhì)量的電纜，帶屏蔽功能，防止電子信號的干擾，優(yōu)化管線的彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能。根據(jù)應(yīng)用，可安裝旋轉(zhuǎn)臺，傾角臺或晶圓裝卸用的夾具等?？砂惭b激光尺或激光干涉儀閉環(huán)反饋，提升系統(tǒng)精度性能。
規(guī)格指標
型號 | 單位 | QFHDS-300-300-50 | QFHDS-400-400-100 | QFHDS-500-500-200 | ||||||
軸系 | — | X | Y | Z | X | Y | Z | X | Y | Z |
行程 | mm | 300 | 300 | 50 | 400 | 400 | 100 | 500 | 500 | 200 |
補償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.25 | ±0.1 | ±0.25 | ±0.15 | ||
標準值 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.3 | ||||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.025 | ±0.075 | ±0.05 | ±0.075 | ±0.05 | ||
標準值 | ±0.1 | ±0.05 | ±0.15 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ||||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.2 | ±0.25 | ±0.5 | ±0.35 | ±0.5 | ±0.75 | ||
標準值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ||||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.2 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 | ||
標準值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ||||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±2 | ±1 | ±3 | ||
標準值 | ±1 | ±5 | ±1.5 | ±5 | ±1.5 | ±7 | ||||
正交性 | Plus (1) | arc sec | 2 | 5 | 2 | 5 | 2 | 5 | ||
標準值 | 5 | 10 | 5 | 10 | 5 | 10 | ||||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | ||||||||
最大速度 (空載) (4) | m/s | 1 | 0.1 | 1 | 0.2 | 1 | 0.2 | |||
最大加速度 (空載) (4) | m/s2 | 5,（10, 20, 30 定制） | 5 | 5,（10, 20, 30 定制） | 5 | 5,（10, 20, 30 定制） | 5 | |||
最大負載 | kg | 20 | 15 | 20 | 15 | 20 | 15 | |||
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標，是標準值的升級版。
2. 取決于平臺安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數(shù)。
4. 空載條件下指標，最大速度和加速度取決于負載大小。
