德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移臺 型號 P-541.ZCD

公司介紹：

北京漢達森機械技術有限公司是一家從事歐洲工業(yè)產品進口貿易的公司。主要產品有工業(yè)自動化設備、機電設備、液壓設備、電氣設備和零部件等產品。公司總部于2007年在德國成立。公司自成立以來，一直以德國公司的身份為國內一些貿易商，設備商及終端客戶提供產品代購服務。

應用領域：

掃描顯微鏡

超分辨率顯微鏡

生物技術

掩模/晶圓定位

樣本定位

干涉測量

計量

產品參數：

型號：P-541.ZCD

主動軸：Z

集成傳感器：電容式

-20至120伏時Z向上的開環(huán)行程：150微米

θX、θY向上-20至120伏時的開環(huán)偏擺角：–毫弧度

Z向上的閉環(huán)行程：100微米

θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角：–毫弧度

Z向上的分辨率，開環(huán)：0.2納米

θX、θY向上的開環(huán)分辨率：–微弧度

Z向上的閉環(huán)分辨率：0.5納米

θX、θY向上的閉環(huán)分辨率：–微弧度

Z、θX、θY向上的線性誤差：0.03%

Z向上的重復精度：<2納米

θX、θY向上的重復精度：–微弧度

θX、θY向上的串擾（Z向運動）：±15微弧度