壓電馬達(dá)一般分為交流壓電馬達(dá)和直流壓電馬達(dá)。運(yùn)動(dòng)方式分為旋轉(zhuǎn)和直線運(yùn)動(dòng)兩種。壓電馬達(dá)由振動(dòng)件和運(yùn)動(dòng)件兩部分組成，一般體積較輕、薄、小巧。
由于壓電陶瓷在電壓下產(chǎn)生的位移非常精細(xì)，在微納米量級(jí)，且振動(dòng)或伸縮的幅值很微小，因而特別適用于制成超高精度的運(yùn)動(dòng)馬達(dá)，獲得微小的位置調(diào)整。
直線與旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)的原理
壓電馬達(dá)的結(jié)構(gòu)形式很多，但多數(shù)的動(dòng)作原理相同，都是利用壓電陶瓷在電壓作用下發(fā)生振動(dòng)，驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)件旋轉(zhuǎn)或直線運(yùn)動(dòng)。
直線運(yùn)動(dòng)的壓電馬達(dá)是采用粘滑原理，一般采用單個(gè)壓電陶瓷或多個(gè)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)。通過(guò)壓電陶瓷的振動(dòng)完成移動(dòng)平臺(tái)的直線運(yùn)動(dòng)。采用單個(gè)壓電陶瓷的結(jié)構(gòu)，通過(guò)調(diào)整壓電陶瓷的運(yùn)動(dòng)方向及速度來(lái)控制。采用多個(gè)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的結(jié)構(gòu)，一般具有兩種壓電陶瓷，一種壓電陶瓷的位移方向與運(yùn)動(dòng)方向垂直，控制壓電陶瓷與移動(dòng)件的接觸與分離；另一種壓電陶瓷的位移方向與運(yùn)動(dòng)方向平行，通過(guò)壓電陶瓷的振動(dòng)驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的直線運(yùn)動(dòng)。
旋轉(zhuǎn)型壓電馬達(dá)也是由壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，壓電陶瓷在電壓作用下產(chǎn)生振動(dòng)，通過(guò)爪桿使棘輪旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
芯明天壓電馬達(dá)
芯明天可提供直線與旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)，直線馬達(dá)的運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)123mm，角度旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)的運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)360度。
| ~10"） | |||
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滿(mǎn)行程重復(fù)度 |
< 1nm |
掃描分辨率 |
< 1~2µ° |
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速率 |
> 20mm/s |
角速度 |
≥15°~≥45°/s |
直線壓電馬達(dá) 部分展示
一維X向運(yùn)動(dòng)直線壓電馬達(dá)
直線與角度組合式壓電馬達(dá)
直線與旋轉(zhuǎn)組合式三維壓電馬達(dá)
