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產(chǎn)品特點(diǎn)
? 疊層式布局 ? 納米級(jí)微動(dòng)步距
? 緊湊型中空結(jié)構(gòu) ? 高動(dòng)態(tài)性能，高精度
? 雙直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動(dòng) ? 集成式線纜管理
應(yīng)用領(lǐng)域
RBZK系列是帶中空結(jié)構(gòu)的精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)，大尺寸通孔、高動(dòng)態(tài)性能滿足晶圓檢測(cè)應(yīng)用，同時(shí)適用于CCD成像、LED封裝檢測(cè)等其它高端制造等行業(yè)。
設(shè)計(jì)特點(diǎn)
RBZK系列雙軸中空精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)，疊層緊湊的中空外形結(jié)構(gòu)，工作點(diǎn)位置降低，光柵反饋位置接近工作表面，在晶圓檢測(cè)中至關(guān)重要。高精度滾柱導(dǎo)軌和精密研磨的加工表面，專業(yè)的裝配工藝，獲得直線度±1μm，平面度±2.5μm。
光柵反饋
每軸采用雙光柵尺閉環(huán)反饋，安裝位置接近工作表面，能夠有效地降低系統(tǒng)誤差影響，提升整體精度性能?？蛇x電子分辨率0.3nm或5nm。
雙驅(qū)結(jié)構(gòu)
每軸用雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，龍門交叉解耦控制算法，保證雙電機(jī)的運(yùn)行的一致性，提供大推力、速度1m/s和準(zhǔn)確的定位，直線電機(jī)的溫度控制在室溫，比滾珠絲桿傳動(dòng)結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)臺(tái)，性能有了提升。
線纜管理
使用高質(zhì)量無塵拖鏈，優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動(dòng)作過程中影響其性能，同時(shí)也適用在潔凈室內(nèi)。
規(guī)格指標(biāo)
型號(hào) | 單位 | RBZK-150XY | RBZK-250XY | RBZK-300XY | |||
軸系 | 軸系 | X | Y | X | Y | X | Y |
行程 | mm | 150 x 150 | 250 x 250 | 300 x300 | |||
補(bǔ)償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±1 | ±1 | ±1 | ||||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.25 | ±0.25 | ±0.25 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ||||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.7 | ±0.7 | ±1 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±1 | ±1.5 | ±2.5 | ||||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±1.25 | ±1.75 | ±2.5 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±1.25 | ±1.75 | ±2.5 | ||||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±3 | ±5 | ±5 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±4 | ±6 | ±7 | ||||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | |||||
最大速度 (空載) (4) | m/s | 1 | |||||
最大加速度 (空載) (4) | m/s2 | 5,（10, 20 定制） | |||||
最大負(fù)載 | kg | 20 | 30 | 50 |
注：
以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測(cè)試，溫度20℃±1℃，濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級(jí)VC-E，測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處，測(cè)試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，請(qǐng)咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級(jí)版。
2. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
4. 空載條件下的精度指標(biāo)，最大速度和加速度取決于負(fù)載大小。