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產品特點
l ? 三軸直驅氣浮結構 ? 重復定位精度±50nm
l ? 結構緊湊、精度高 ? 全行程直線度±0.1μm
? 根據(jù)需求可定制 ? 高柔線纜管理系統(tǒng)
背景介紹
QFL3D系列是一款結構緊湊的三軸氣浮運動臺，用于飛秒激光加工，超精密加工，測試測量，掃描、半導體及光子學對準等行業(yè)，由于非接觸式移動，精度高和結構緊湊是行業(yè)內的理想選擇。
結構優(yōu)勢
QFL3D系列是一款預負載結構的三軸氣浮運動臺，氣浮結構已證明是精密應用中的理想選擇，適用飛秒激光加工、微納制造等應用，具有體積小，精度高和外觀緊湊等特點，無論是定位抖動，還是速度穩(wěn)定性，QFL3D系列都是良好的解決方案。
定制化
根據(jù)用戶的應用，可以選擇單軸，雙軸，三軸等多種結構，如直接在XY軸上增加Z軸，平升Z軸或定制大理石基座、立柱及橫梁上側掛Z軸等。此外可提供激光觸發(fā)同步輸出5V TLL信號。
線纜管理
使用高質量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產生的擾動力影響可忽略不計，運動中線纜和氣管不影響氣浮運動臺的性能。
潔凈室兼容性
氣浮軸承本質上與潔凈室環(huán)境兼容，高質量的無塵線纜管理也符合實驗室環(huán)境。
規(guī)格指標
型號 | 單位 | QFL3D-50-50-25 | QFL3D-100-100-25 | QFL3D-150-150-25 | ||||||
軸系 | — | X | Y | Z | X | Y | Z | X | Y | Z |
行程 | mm | 50 | 50 | 25 | 100 | 100 | 25 | 150 | 150 | 25 |
補償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | |||||
標準值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | |||||||
雙向重復定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 | |||||
標準值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | |||||||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.1 | |||||
標準值 | ±0.25 | ±0.25 | ±0.4 | |||||||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | |||||
標準值 | ±0.35 | ±0.4 | ±0.5 | |||||||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.35 | ±0.4 | ±0.5 | |||||
標準值 | ±1 | ±1 | ±1.5 | |||||||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | ||||||||
最大速度 (空載) (4) | mm/s | 200 | ||||||||
最大加速度 (空載) (4) | m/s2 | 1,（5 定制） | ||||||||
最大負載 | kg | 5 | ||||||||
供氣壓力 (5) | MPa | 0.5±0.05 |
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環(huán)境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標，是標準值的升級版。
2. 取決于平臺安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數(shù)。
4. 空載條件下指標，最大速度和加速度取決于負載大小。
5. 為保護氣浮導軌建議加裝壓力保護開關。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。